防爆泵

防爆泵技术特种气体系统工程技术规范

>特种气体系统工程技能规范>>1 总则>>1.0.1为了在电子工厂特种气体系统工程设计和动工中不错彻底体现国度法律、法规,确保镖全靠得住,保护环境,满足电子商品生产要求,保护个人的生活命和财产安全,做到安全适用、技能先进,经济合理。制定本规范。>>1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和动工。>>1.0.3本规范不适用特种气体的制取、高提纯、灌装系统的设计和动工。>>1.0.4特种气体系统的设计和动工除应符合本规范的规定外,应符合国度现行有关规范的规定。>>2 术语>>2.0.1特种气体specialily gas>>用于各种电子商品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子灌注气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。凡是包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。>>2.0.2特种气体系统speciality gas syst>>特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。>>2.0.3特种气体间speciality gas room>>是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备,并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。>>2.0.4硅烷站silane station>>是指放置硅烷储存设备(气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO规范储罐)、硅烷气扮装置及尾气处理装置、电气装置等,并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或地区范围。>>2.0.5明火所在open flame site>>室表里有外露的火焰或赤热表面的固定所在。>>2.0.6披发火花所在sparking site>>披发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定所在。>>2.0.7空瓶pty cylinder>>留有残余压力的气体钢瓶。>>2.0.8实瓶full cylinder>>存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶,特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。>>2.0.9气瓶集装格the bundle of gas cylinders>>用专用金属框架固定,采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等,单个气瓶的水容积凡是为40~50L。>>2.0.10气瓶柜gas cabinet (GC)>>特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监视检测及报警等安全使用所必须的举措措施。排风管配置走漏探头。气瓶柜有手动、半不佣人力、全不佣人力三类。>>2.0.11气瓶架gas rack (GR)>>特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过淋器、紧急切断阀、压力监视检测及报警等安全举措措施。气瓶架有手动、半不佣人力、全不佣人力三类。>>2.0.12阀门箱valve manifold box (VMB)>>特种气体在输送过程当中使用的封闭式管道分配部件,VMB在气体入口配置气动阀、手动阀,各支管可配置手动阀、压力表、过淋器等组件,除SiH2Cl二、WF6等低蒸汽压力气体外,VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置走漏气体排气管接口惠风压事故报警。>>2.0.13阀门盘valve manifold panel (VMP)>>特种气体在输送过程当中使用的开放式管道分配部件,VMP在气体入口配置气动阀、手动阀,各支管应配置手动阀、压力表、过淋器等组件,VMP各支管可根据需要设置调压阀。>>2.0.14低蒸汽压力气体low vapor pressure gas>>在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体。>>2.0.15尾气处理装置local scrubber>>用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的装置,处理后的尾气达到规定排放浓度,并排入用气车间的排气管道。>>2.0.16气体探测系统gas detector syst(GDS)>>设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备与管道所覆盖地区范围,通过检测素质气体或关联气体在空气中的含量来判断素质气体的走漏,从而拍发声光报警信号、提供应急处理数据的系统。>>2.0.17气体管理系统gas managent syst(GMS)>>包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送与处理系统的气体管理与控制系统的统称。>>2.0.18最高允许浓度值threshold limit value(TLV)>>工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。>>2.0.19爆炸浓度下限值low explosion limit(LEL)>>可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。>>2.0.20卧式气瓶y-cylinder/t-cylinder>>用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L,1000L。>>2.0.21自燃气体pyrophoric gas>>在空气中会发生不佣人力燃烧现象的气体。>>2.0.22可燃气体flammable gas>>指与空气(或氧气)能够形成一定浓度的混淆气态,并遇到火源会发生燃烧现象或爆炸的气体。>>2.0.23毒性气体toxic gas>>LC50超过200ppm但不超过2000ppm的气体。>>2.0.24腐蚀性气体corrosive gas>>是指在一定前提下,对材料或人体组织接触孕育发生化学反映引起可见破坏或不可逆反映的气体。>>2.0.25氧化性气体oxygenize gas>>是指在一定前提下,与材料接触会孕育发生较为剧烈的落空电子的化学反映的气体。>>2.0.26惰性气体inert gas>>在一般情况下与其它物质不会孕育发生化学反映的气体。>>2.0.27限流孔板restrict flow orifice(RFO)>>限制系统最大流量的一种装置。>>2.0.28过流开关excess flow switch(EFS)>>流量超出设定值时,给出开关信号。>>2.0.29AP管annealed and pickled pipe>>颠末酸洗或钝化、去除表面残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。>>2.0.30BA管bright annealing pipe>>经加氢或真空状态高温热处理,消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管。>>2.0.31EP管electro-polished pipe>>经电化学抛光,使表层现实平面或物体表面的大获得最大程度的减少,表面孕育发生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。>>2.0.32吹扫purge>>用氮气和氩气对特种气体系统内的其它气体进行置换的过程。>>2.0.33排气vent>>特种气体设备与系统中排出的素质气体。>>2.0.34数据收罗与监视控制系统supervisory control and data acquisition(SCADA)>>是以计算机为根蒂根基的生产过程控制与调度不佣人力化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制,以实现数据收罗、设备控制、测量、参数调治以及各类信号报警等各项功能。>>2.0.35工厂设备管理控制系统facility managent control syst(FMCS)>>用于管理工厂动力设备的管理控制系统,一般只具有监视功能,不具有控制功能。>>2.0.36大宗硅烷系统bulk silane syst>>是指容器水容积超过250L的硅烷系统,包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车(T/T)、ISO规范储罐,以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。>>2.0.37气体面板gas panel>>集成切断阀门、调压阀、过淋器、压力表等零部件并安装在气瓶柜内的专用举措措施。>>2.0.38开敞式建筑open area>>立柱和墙面遮挡部分小于周长的25%的建筑。>>2.0.39内向检漏inboard he leak test>>又称喷氦法测试. 采用内部抽真空,外部喷氦气的方法,测试管路系统的走漏率。>>2.0.40阀座检漏cross seat he leak test>>采用阀门上游充氦气,下流抽真空,检测走漏率的方法。>>2.0.41外向检漏outboard he leak test>>又称吸枪法测试,采用管路内部充氦气或氦氮混淆气,外部用吸枪查抄漏点走漏率的方法。>>2.0.42不相容性incompatible>>不同气体混淆后即发生化学反映,开释出能+量并对环境孕育发生危害作用的特性。>>2.0.43ISO规范储罐ISO module>>按国际规范组织(ISO)要求,允许安装在架子上的多个水容积不超过1218L的储罐或长管气瓶的总称。>>2.0.44大宗特气输送系统>>应用:1)集束钢瓶(容积小于50L钢瓶数量超过12个以上);2)Y型钢瓶;3)T型钢瓶;4)长管拖车;5)ISO槽罐等进行特种气体储存和吐气作业的系统。>>3 特种气体站房>>3.1 一般规定>>3.1.1特种气体站房包括布置在单独建构筑物或地区范围内的特种气体站和布置在生产厂房内的特种气体间。>>3.1.2布置在生产厂房内的特种气体间,可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供应特种气体。>>3.1.3在生产厂房内的特种气体间内的最大允许储存量见表3.1.5,当生产厂房内的气体储量超过规定数量时,应设计独立的特种气体站。>>表3.1.3 生产厂房内最大允许储存量>>序号>>气体种类>>气体总量[1]立方米>>1>>可燃气体>>56>>2>>毒性气体>>92>>3>>剧毒性气体>>1.1>>4>>自燃气体>>2.8>>5>>氧化性气体>>170>>6>>腐蚀性气体>>92>>说明:[1] 规范状态下的气体体积量.>>3.1.4集合工艺设备的布置情况,生产厂房内的特种气体间应集中布置在生产厂房一楼靠外墙的地区范围。>>3.1.5低蒸汽压力特种气体供应举措措施应尽可能靠近工艺设备。>>3.1.6布置在单独建构筑物或地区范围内的特种气体站,可采用气瓶集装格、卧式气瓶、槽车、长管拖车向生产线供应特种气体。>>3.2 气体站房分类>>3.2.1特种气体依其物性及安全特性,将其分为可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性气体。>>3.2.2布置在生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性气体间。>>3.2.3独立布置的特种气体站有硅烷站、氨气站等。>>3.3 特种气体设备的布置>>3.3.1不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里,如果布置在同一房间,气瓶柜架之间的距离应大于6米。>>3.3.2同时具有可燃性和毒性气体应放在可燃性气体间>>3.3.3特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、就地尾气处理装置、气瓶集装格宜靠墙布置,具有不异或相近气体性质的设备应布置在一起。>>3.3.4特种气体间的中间通道宽度不得小于2米,特气柜与墙体之间的距离宜大于0.1m,特气柜之间的距离宜大于0.1m,气瓶集装格宜靠墙布置。布置应试虑维修与运转空间。>>3.4.5硅烷站内长钢瓶拖车宜放置在硅烷站的室外空阔地坪。>>3.4.6特种气体系统的电气控制盘、仪表控制盘的布置,应符合下列规定:>>1应布置在与特种气体供应设备室相邻的控制室内,隔墙上可以设置防爆密闭不雅查窗。>>2控制室应以耐火极限不小于2h的隔墙和不低于1.5h的楼板与特种设备间隔开,穿越隔墙的管道应以防火材料填堵。>>4 特种气体工艺系统>>4.1 一般规定>>4.1.1电子工厂的特种气体工艺系统应设置下列装置:>>1. 储存与吐气的气瓶柜、气瓶架、集装格;>>2. 气体输送与分配用阀门箱或阀门盘;>>3. 辅助氮气吹扫系统;>>4. 尾气排放处置系统。>>4.1.2特种气体工艺系统的设计应满足电子商品生产工艺对特种气体使用的安全操作、工艺参数、污染控制的要求。>>4.1.3不相容的特种气体的排气管道不应接入同一排气系统。>>4.1.4不相容的特种气体的排风管道不应接入同一排风系统。>>4.2 特种气体输送系统>>4.2.1特种气体系统的气瓶柜与气瓶架的设置应符合下列规定>>1自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的气瓶柜用气瓶容积不得大于50L;>>2氧化性和惰性气体的气瓶架用气瓶容积不得大于50L;>>3气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(双瓶式)、双工艺气瓶内置吹扫氮气(源)瓶(三瓶式)等多种结构配置;>>4不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中;>>5气瓶柜与气瓶架应设有分配、作业用气体面板,气体面板的要求详见4.2.2条;>>6系统的供应能力必须颠末相应的热力学和流体力学计算核实;>>7气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压,其排风换气次数不得低于300次/小时;>>8自燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体走漏探测器;>>9气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于2.5mm,并有防腐蚀涂层。>>10气瓶柜门应具备不佣人力封闭功能,并配备防爆玻璃不雅察窗;>>11气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标示牌;>>12气瓶柜地脚螺栓的设计要满足当地地震烈度的要求。>>13当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时,其设计应符合现行国度规范《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的规定。>>4.2.2特种气体气瓶柜与气瓶架的气体面板设置应符合下列规定:>>1自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门,并应为常闭气动阀门,位置尽量靠近气瓶端;>>2气瓶压力大于0.1MPa的自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关;>>3自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫系统;>>4自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有辅助抽真空装置,该管路必须设置止回阀;>>5各种特种气体面板均应设置工艺气体排气口;>>4.2.3可燃特种气体气瓶柜的设置应符合下列要求>>1. 硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/小时。气瓶柜的负压应持续监控;>>2. 自燃性气瓶柜应设置紫外红外火焰探测器;>>3. 可燃与自燃性气瓶柜应设置水喷淋系统,但是ClF3气瓶柜不应设置水喷淋系统;>>4. 自燃性气体气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。>>4.2.4大宗特种气体输送系统应设置下列装置>>1独立设置的气(液)瓶、储罐或长管拖车及其压力指示或钢瓶称重装置、连接回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、电气控制柜;>>2大宗特种气体输送系统的其它功能配备应符合第4.2.1条的规定;>>3大宗特种气体输送系统的供应能力必须颠末相应的热力学和流体力学计算核实;>>4大宗特种气体输送系统宜单独建站,或置于单独的气体房,并考虑消防间距和物流通道等;>>5液化气体瓶的大宗特种气体系统应设计合适的钢瓶加热与保温装置。>>6大宗特种气体应试虑在减压前对气体进行预热。>>4.2.5液态特种气体输送系统>>1液态特种气体系统包括独立放置的液体槽罐、液体输送柜、连接回型管、推动气体单元、载气单元、吹扫氮气单元、电气控制柜与温度控制装置。>>2液态特种气体输送系统哄骗推动气体的静压力或者采用泵,将液体化学品从大包装槽罐里输送至液体输送柜里的小包装液罐,或者将小包装液罐里的液体直接推动输送至用液点。用液点设置鼓泡器或蒸发器,将液体化学品鼓泡或直接蒸发,以汽化形式输送至工艺反映设备。>>3液态特种气体输送柜必需的其他功能配备应符合第4.2.1条的规定。>>4.2.6特种气体系统的阀门箱和阀门盘的设置应符合下列规定>>1自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体系统的阀门箱应设有:>>1)进气管路隔离阀门及压力指示单元;>>2)各分支路独立的压力控制调治、过淋器、过流开关单元;>>3)各分支路独立的进出口隔离阀门;>>4)各分支路独立的吹扫氮气或惰性气体单元;>>5)各分支路独立的辅助抽真空单元等>>2惰性及氧化性气体系统的阀门盘应设有:>>1)进气管路隔离阀及压力指示单元;>>2)各分支路独立的压力控制调治阀、过淋器;>>3)各分支路独立进出口隔离阀门。>>4.3 吹扫和排气系统>>4.3.1特种气体系统吹扫氮气的设置,应符合下列要求:>>1自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接,不得与公用氮气或工艺氮气系统相连;>>2不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源;>>3吹扫氮气管线必须设置止回阀。>>4.3.2吹扫氮气的气体面板设置包括下列部件:>>1)压力调治阀;>>2)排气管;>>3)高低压截止阀;>>4)高低压压力指示;>>5)安全阀>>4.3.3特种气体系统的辅助抽真空设置应符合下列要求:>>1真空发生器宜采用氮气实现抽真空功能;>>2抽真空用氮气可由公用平凡氮气提供;>>4.3.4工艺排气与废气处理>>1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫,防止空气倒流造成污染和腐蚀。>>2 不相容性气体的排气不得连接进入同一排气主管。>>3 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的排气浓度超过燃烧现象下限20%或最大允许浓度10%时,必须颠末尾气处理装置处理后排入厂房排气系统。>>4 合适的废气处理装置包括但不限于:1)干式处理;2)水洗式处理;3)加热分解处理;4)燃烧现象处理;5)等离子分解处理;6)稀释处理;以及以上几种处理体式格局的结合。>>5 硅烷站>>5.1 硅烷工艺系统>>5.1.1硅烷站工艺系统应根据下列因素确定>>1硅烷的危险性质>>2硅烷站的规模>>3用户对硅烷纯净度及压力要求>>4用户对硅烷负荷变化情况的要求>>5.1.2硅烷站应根据工艺要求、当地天气状况、硅烷设备状况选择采用封闭式、开敞式或露天形式进行布置。>>5.1.3硅烷输送工艺系统应包括硅烷容器、气体面板、阀门箱以及相应的连接管道。>>5.1.4典型的硅烷气体面板应包括减压过淋、吹扫/排气、安全控制等功能。>>5.1.5硅烷应采用独立的惰性气体钢瓶进行吹扫,不得采用公用管道氮气吹扫。>>5.1.6阀门箱应配置惰性气体吹扫系统、走漏侦测和火焰侦测。>>5.1.7硅烷的放空不得排入局部排风系统,应直接排到大气,或燃烧现象式尾气处理器。放空管道应使用氮气连续吹扫。放空管道吹扫氮气流速不应低于0.3m/s。>>5.1.8钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀。硅烷站的各安全出口应设置手动紧急切断按钮,至少有一个手动紧急切断按钮与输送系统的距离应大于4.6米。>>5.1.9硅烷输送系统应采用金属膜片的波纹管阀、隔膜阀、调压阀。气源应配置直径小于3.175mm的限流孔板。输送系统应配置过流开关。>>5.2 硅烷站的布置>>5.2.1硅烷站的布置,应按下列要求综合比较确定:>>1应布置在工厂常年最小频率风向的上风侧,并应远离有明火或披发火花的所在;>>2不应布置在人员密集地段和首要交通要道邻近处;>>3硅烷站应采用单层钢筋混凝土或钢框架、排架结构。钢框架、排架结构应采用防火保护办法。>>4硅烷站应设置不燃烧现象体的围墙,其高度不应小于2.5m;>>5大宗硅烷站必须布置为独立的开敞式建筑物或空阔地区范围,不得有地下室。当采用开敞式建筑结构形式时,硅烷站墙面遮挡部分平面或物体表面的大不大于建筑外围平面或物体表面的大的25%。如果有停滞物,距离应包管大于停滞物高度的2倍。>>6硅烷站的选址应利便运输和消防车辆的进出。>>5.2.2硅烷站与工厂建筑物、构筑物的防火间距,不应小于表5.2.2的规定。>>表5.2.2 硅烷站与其他建筑物、构筑物、道路的防火间距(m)>>名称>>硅烷站储量(t)>>≤5>>>5>>重要大众建筑>>50>>甲类仓库>>20>>民用建筑、明火或披发火花所在>>30>>40>>其他建筑>>一、二级耐火建筑>>15>>20>>三级耐火建筑>>20>>25>>四级耐火建筑>>25>>30>>电力系统电压为 35 ～ 500kV 且每台变压器容量在10MV·A 以上的室外变、配电站工业企业的变压器总油量大于 5t 的室外降压变电站>>30>>40>>厂外铁路线中间线>>40>>厂内铁路线中间线>>30>>厂外道路路边>>20>>厂内道路路边>>首要>>10>>次要>>5>>注:1 防火间距应按相邻建筑物、构筑物的外墙、凸出部分外缘、气瓶集装格外缘的最近距离计算。>>2固定容积的硅烷气罐,总容积按其水容量(m3)和工作压力(绝对压力)的乘积计算。>>3 与高层厂房的防火间距,应按本表相应增加3m。>>5.2.3硅烷站的建筑设计应符合现行国度规范《建筑设计防火规范》GB50016的规定。>>5.2.4硅烷站可采用有坡度的屋顶,屋顶最低点宜大于4.5米。硅烷站的平面或物体表面的大大于19m2时,必须有两个安全出口。>>5.2.5站内任何所在到最近安全出口的距离不得大于23m。>>5.2.6硅烷站应采用快开式推杆锁,不得采用其它形式的锁具,疏散门应采用平开门,朝向为疏散方向。>>5.2.7露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺面板之间应距离9米,当距离不到9米时,应采用2小时防火隔断。防火隔断的设置不应影响自然通风。>>5.3 安全技能办法>>5.3.1硅烷站的电气控制室应设置在单独的房间内,并用无门窗洞口的防爆墙与硅烷气瓶库隔开。供硅烷站专用的10kV及以下变配电所,不应设置在硅烷站厂房内或贴邻建造。>>5.3.2硅烷大宗钢瓶应进行防静电接地。>>5.3.3对抽风管道的走漏探测器,设定值不应小于0.34%(V/V)(25% LEL),报警并不佣人力封闭输送系统。环境监视检测点设定值不应小于5ppm,报警但不需要切断输送系统。>>5.3.4开放式输送系统大宗钢瓶地区范围必须设置紫外/红外火焰探测器。封闭式输送系统应采用高温探测器。火焰或感温探测器应与报警系统和紧急切断系统联动。>>5.4 采暖通风与空气调治>>5.4.1采用开放式布置的硅烷站,应采取有效的办法,包管自然通风,防止硅烷气体积聚。若不克不及满足开放式的前提时,应设置强制通风系统。>>5.4.2封闭式硅烷站严禁采用循环空气调治系统。>>5.4.3封闭式的硅烷站室内温度、湿度设计参数应满足气柜的要求。当气柜无具体要求时,室内设计参数宜满足25±3℃。>>5.4.4封闭的硅烷站应设置独立的连续排风系统。>>5.4.5气柜排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板(RFO)的硅烷连续流量计算气柜内的硅烷浓度,应包管气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%,并包管流经气瓶颈部和管道机械连接处的气流速度不小于1m/s来确定。>>5.4.6气瓶组直接安装在封闭的硅烷站内,房间排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板(RFO)的硅烷连续流量计算房间内的硅烷浓度,应包管气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%来确定。>>5.4.7硅烷阀门箱的排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板(RFO)的硅烷连续流量计算气柜内的硅烷浓度,应包管气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%来确定。>>5.4.8封闭的硅烷站应设置事故通风,事故通风量根据事故走漏量计算确定,但换气次数不应小于每小时12次。硅烷站外应设置紧急按钮。>>5.4.9硅烷站排风系统应设置备用机组。>>5.4.10硅烷站空调系统应采用适当办法包管在空调机组维护或故障时,硅烷站能取得足够的补风。>>5.4.11硅烷站排风系统、空调系统电源应设置应急电源。>>5.4.12空调系统、排风系统风管应采用不燃材料建造。排风风管应采用刚性风管,不得使用柔性风管。空调系统风管保温应采用不燃或难燃保温材料。>>5.4.13排风管路严禁穿越防火分区防火墙。排风管路上不应设置溶片式防火阀。>>5.4.14排风系统不应与火灾报警系统连动控制,严禁封闭排风系统。>>5.5 消防系统>>5.5.1 硅烷站的消防应符合下列规定>>1.在发生硅烷火灾时,在没有封闭走漏钢瓶之前,严禁扑灭硅烷火焰。>>2.在发生火灾时,硅烷钢瓶和使用到硅烷的相关的设备,应有冷却办法。>>3. 硅烷站严禁使用“哈龙”消防工具。>>4. 硅烷站的消火栓系统设计应符合《建筑设计防火规范》GB50016-2006中的有关规定。>>5.5.2 室外硅烷站的消防应符合下列规定>>1.设置在室外的硅烷站,应设置雨淋系统来冷却硅烷的输送系统。保护部位包括硅烷钢瓶、大宗硅烷储罐及相关的工艺气柜。>>2.雨淋系统的设计喷水强度不小于12L/min.m2,火灾持续时间不小于2小时。>>3.消防系统的管道应采用金属管材,接口采用丝扣、焊接管件。在站内15m范围内的管道不应采用以橡胶为密封材料的沟槽式连接体式格局。>>4 雨淋系统启动时,应同时切断硅烷的供应。>>5 当室外硅烷站设有屋顶等防雨办法时,在此处可以设置湿式不佣人力喷水灭火系统。设计喷水强度按照严重危险系II级考虑。设计喷水强度16L/min.m2,保护平面或物体表面的大260m2。>>6 室外硅烷站的附近应设置室外消火栓,室外消火栓应设置在距大宗钢瓶30m之外且46m之内。>>5.5.3 室内硅烷房间的消防应符合下列规定>>1.存储和使用硅烷的房间应设置不佣人力喷水灭火系统。设计喷水强度不低于严重危险级I级,设计喷水强度12L/min.m2,保护平面或物体表面的大260m2。>>2.硅烷气柜应自带冷却用的不佣人力喷水灭火喷头,该喷头为快速反映喷头。>>6 特种气体管道输送系统>>6.1 一般规定>>6.1.1特种气体输送系统包括特气管道系统、阀门分配系统、工艺设备和尾气处理系统的管道、管件、阀门、过淋器、减压装置、卸压装置、压力表(传感器)等所有部件。>>6.1.2生产厂房内特种气体管道的干管,应敷设在技能夹层或技能夹道内,当与水电管线共架时,当相对疏密程度小于或等于0.75的气体管道宜设在水、电管线下部;相对疏密程度大于0.75的特气管道宜设在水、电管线上部。>>6.1.3生产车间内的可燃和有毒特气体管道应明敷,穿行生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管,套管内的管道不得有焊缝,套管与管道之间应采用密封办法。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接处,应置于抽风罩内。>>6.1.4可燃特气体与毒性特气体管道不得穿行不使用此类气体的房间,当必须穿行时应设套管或双层管。特气管道严禁穿行生活间、办公室。>>6.1.5特气管道不得出现不易吹除的盲管等死区,避免U型弯。>>6.1.6易燃性特气体与氧化性特气管道,应设置导出静电的接地举措措施。>>6.1.7室外布置的特种气体管道应架空布置。>>6.2 材料选型>>6.2.1工艺和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体不锈钢无缝钢管,内表面应进行干净和钝化处理。>>6.2.2腐蚀性气体管道,宜采用二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金材料的无缝钢管。内表面应进行干净和钝化处理。>>6.2.3用于接触工艺气体的阀门的密封座,应尽量减少塑料材质的使用量和表面接触平面或物体表面的大,且材质应与气体性质匹配。>>6.2.4双层管的外层管道宜选择颠末退火处理和酸洗处理的不锈钢管道。>>6.2.5排气和尾气真空管道宜采用不锈钢管道,并颠末严格的脱脂处理。>>6.2.6氧化性气体应采用专用禁油阀门、附件和管材,所有管件按规定进行脱脂处理。>>6.3 管道设计>>6.3.1管道的压力等级应根据工艺气体的输送压力确定。管道设计应符合现行国度规范《工业金属管道设计规范》GB50316的要求。>>6.3.2管道设计应充分考虑用气设备对流量和压力的要求。应参照现行国度规范《工艺系统工程设计技能规定》HG/T20570.7进行计算。>>6.3.3管材的壁厚应符合现行国度规范《流体输送用不锈钢无缝钢管》GB/T14976的规定,小尺寸管道管壁厚度应满足下述要求:>>表6.3.3 小尺寸轨道壁厚要求>>管道外径>>壁厚要求>>6mm(1/4″)–10mm(3/8″)>>0.89mm(0.035″)>>15mm (1/2″)>>1.24mm(0.049″)>>20mm(3/4″)—25mm (1”)>>1.65mm(0.065″)>>6.3.4液态特气水平管道应有不小于0.3%的坡度,坡向供液设备或收集器。>>6.3.5对强腐蚀性、自燃性和剧毒性危险性气体,宜采用双套管设计,内管走工艺气体。套管间可采用封闭或开放形式。>>6.3.6对输送低蒸汽压气体,需要对管道设置伴热和保温办法。加热温度不宜超过50℃。>>6.3.7特气管道应采用全不佣人力轨道焊接。阀件或管件处应采用面密封连接,不应采用螺纹或法兰连接。>>6.3.8特气阀门应采用隔膜阀或波纹管阀,不应采用球阀、旋塞阀等阀门。>>6.3.9特气管道连接用密封垫片宜选用不锈钢垫片,垫片与特气的性质必须相容。>>6.3.10孕育发生颗粒的阀件下流宜安装过淋器。>>6.3.11特气管道系统安装完成后,应根据工艺的要求进行压力测试、密封性测试和不纯物测试。详见特种气体系统验收章节。>>6.4 管道标签>>6.4.1特种气体管道必须进行管道标示,标示方法应按本节规定或企业内部管道标示执行。>>6.4.2特种气体管路标识应包括气体名称、首要危险特性和流向箭头,并通过各种颜色来表示管道内介质的危险特性。>>表6.4.1 特种气体管路标示颜色>>底色>>意义>>物质>>特性>>物质>>种类>>举例>>字体>>颜色>>箭头>>颜色>>红色>>危险>>极易燃易爆、强毒性>>气、液体等>>AsH3,SiH4, CH2F2,PH3,WF6,ClF3, CO,CCl4等>>白色>>白色>>黄色>>正告>>腐蚀性,对人体有危害>>气、液体等>>HBr,HCl,HF等>>黑色>>黑色>>蓝色>>安全>>危害性较小或无危害>>惰性气体、无毒性物质>>SF6,Kr/Ne,Xe等>>白色>>白色>>注:1 红色—危险色,表示内容物易燃易爆、且有强毒性。>>2 黄色—正告色,表示内容物有腐蚀性、毒性,或对人体有危害性。>>3 蓝色/绿色—安全色,表示内容物危险性很小,或根本没有危险。>>6.4.3标示应有该物质名称描写,挨次可根据现实情况进行调整。文字描写不仅包括管内物质名称(化学物质包含分子式),还应包括特性(判定挨次:易燃性、腐蚀性、毒性等其他性质,其中特性的描写以最首要的性质为依据)。中、英文及数字式样如下所示:>>中文(黑体粗体字形)>>英文分子式和数字(Arial粗体字形)>>图 6.4.2 管道标示>>SiH4 硅烷–易燃易爆气体>>箭头记号表示管内物质的流动方向,颜色和字体颜色不异,尺寸与标示大小相匹配。>>6.4.4标示的尺寸依管径内径变化。如管路名称比较长,可根据现实情况增加标签的长度。>>表6.6.3 标示参数与管径的对照>>管径>>标示长度>>标示高度>>箭头长度>>字体高度>>6mm(1/4”)>>150mm(6″)>>15mm(1/2″)>>30mm(1.2″)>>8mm(1/4″)>>10mm(3/8″)>>150mm(6″)>>15mm(1/2″)>>30mm(1.2″)>>8mm(1/4″)>>15mm(1/2″)>>150mm(6″)>>15mm(1/2″)>>30mm(1.2″)>>8mm(1/4″)>>20mm(3/4″)>>200mm(8″)>>20mm(3/4″)>>40mm(1.6″)>>15mm(1/2″)>>25mm(1″)-50mm(2″)>>200mm(8″)>>25mm(1″)>>40mm(1.6″)>>20mm(3/4″)>>50mm(2″)以上>>300mm(12″)>>40mm(1.5″)>>60mm(2.4″)>>30mm(1.25″)>>6.4.5管路上粘贴标签应符合下列规定:>>1水平直管部分:管路直径100mm(4″)(含)以下,每隔3m粘贴一张,其中以首要走道上方为基准方位;管路直径100mm(4″)(不含)以上,每隔6m粘贴一张,其中以首要走道上方为基准方位。>>2垂直直管部分:管路内径100mm(4″)(含)以下,每隔2m粘贴一张,并以地面向上150cm处为基准位置粘贴一张;管路内径100mm(4″)(不含)以上,每隔4m粘贴一张,并以地面向上150cm处为基准位置粘贴一张。>>3管路的连接处(如阀件、弯头),机台与管路的接管处,和穿墙两侧部分都必须粘贴一张。标示的粘贴要遵循整洁的原则垂直管路上的标示上边缘对齐。标示粘贴的角度要易于辨认,使操作人员在操作或紧急突发情况下能迅速辨识。>>-箭头标示如下:>>图 6.6.4 粘贴标示>>2/15L>>箭头长度1/5L>>标签长度L>>1/3H>>1/6H>>7 建筑结构>>7.0.1布置于生产厂房的特种气体间的耐火等级不应低于二级。其结构构件的耐火极限应该符合现行国度规范《建筑设计防火规范》GB50016的规定。>>7.0.2有爆炸危险的特种气体间的承重结构宜采用钢筋混凝土或钢框架、排架结构,房间应沿建筑外墙布置。>>7.0.3有爆炸危险的特种气体应符合现行国度规范《建筑设计防火规范》GB50016的规定设置泄压举措措施。>>7.0.4有爆炸危险的特种气体间的安全出口不应少于2个,且宜分散布置,相邻2个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m,其中1个应直通室外,通向疏散走道的门需要满足防火及防爆要求。当爆炸危险房间的平面或物体表面的大小于等于100m2,且同一时间的生产人数不超过5人时,可设置一个直接通往室外的出口。>>7.0.5惰性气体间的安全出口不应少于2个,且宜分散布置,相邻2个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m,其中1个应直通室外,通向疏散走道的门应为乙级防火门。当惰性气体房间的平面或物体表面的大小于等于150m2,且同一时间的生产人数不超过5人时,可设置一个直接通往室外的出口。>>7.0.6有爆炸危险的特种气体间与无爆炸危险房间之间,应采用耐火极限不低于4h的不燃烧现象体防爆墙隔开,防爆墙上不应开设门窗洞口,当设置双门斗相通时,门应错位布置,门的耐火极限不应低于1.2h。>>7.0.7有爆炸危险的特种气体间的控制室应与该气体房间及相邻其他房间应采用耐火极限不低于3.00h的不燃烧现象体墙体分隔开。>>7.0.8特种气体房间的门应向疏散方向开启,有爆炸危险房间的门窗应采用撞击时不孕育发生火花的材料建造。>>7.0.9当相对疏密程度小于或等于0.75时,披发较空气轻的可燃性特种气体间,顶棚应平整、避免死角,特种气体间上部应通风良好。>>7.0.10当相对疏密程度大于0.75时,披发较空气重的可燃特种气体间,应采用不发火花的地面,并应平整、耐磨、防滑。采用绝缘材料作群体面层时,应采取防静电办法。顶棚表面应平整,避免死角,特种气体房间不应设计地沟,必须设置时,其盖板应严密,防止特种气体的积聚。>>7.0.11特气间的高度应满足工艺设备与管道布置的要求,并结合生产厂房的高度统一考虑,不宜低于4.5米。>>7.0.12特种气体房间内的装修材料应符合现行国度规范《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的规定。>>8 电气与防雷>>8.1 配电与照明>>8.1.1特种气体站和特种气体间的电力负荷分级不宜低于二级负荷;可燃、自燃、毒性与腐蚀性气体设备应为一级负荷;气体管理与气体走漏探测系统为一级负荷中出格重要的负荷,必须配置不间断电源。>>8.1.2有爆炸危险特种气体站和特种气体间的爆炸性气体环境内的电力装置应为1区设防,并应符合现行国度规范《爆炸和火灾环境电力装置设计规范》GB50058的规定。>>8.1.3特种气体站房的汽灯宜安装在操作与维修通道处,不宜安装在设备正上方,并应设置备用照明。>>8.2 防雷与接地>>8.2.1特种气体间与硅烷站的防雷分类应区分清楚为第二类防雷建筑,应采取防直击雷、防闪电感应和防闪电波侵入的办法。>>8.2.2凸起屋面的放散管、风管等物体,应按下列体式格局保护:>>1排放爆炸危险气体的放散管、排风管的管口外空间应处于接闪器的保护范围内,并应符合现行国度规范《建筑物防雷设计规范》GB50057中第一类防雷建筑物对管口保护范围的规定。>>2排放物达不到爆炸浓度或一排放就点火燃烧现象的排放爆炸危险气体放散管、排风管;发闹事故时排放物才达到爆炸浓度的通风管;排放无爆炸危险气体的放散管;1区和2区爆炸危险环境的自然通风管;装有阻火器的排放爆炸危险气体的放散管、排风管,其防雷保护应符合下列要求:>>1) 金属物体可不装接闪器,但应和屋面防雷装置相连;>>2) 在屋面接闪器保护范围之外的非金属物体应装接闪器,并和屋面防雷装置相连。>>8.2.3架空敷设的可燃特种气体管道,在进出建筑物处应与防闪电感应的接地装置相连。距建筑100米内的硅烷气管道,宜每隔25米左右接地一次,其冲击接地电阻不应大于20Ω。>>8.2.4自燃、可燃、氧化性特种气体设备与管道应采取防静电接地办法。>>8.2.5自燃、可燃、氧化性气体的金属管道在进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分岔处及直管段应每隔50~80米处应设防静电接地。>>8.2.6要求接地的设备与管道应设接地端子。接地端子与接地线之间,可采用螺栓紧固连接;对有震动、位移的设备和管道,其连接处应加挠性连接线过渡。>>8.2.7特种气体系统的电气设备工作(系统)接地、保护接地、闪电保护接地以及防静电接地等不同用途接地采用联合接地体式格局时,接地装置的接地电阻值应按其中的最小值确定。>>8.2.8防静电接地为单独接地时每组接地电阻宜小于100Ω。>>9 生命安全系统>>9.1 特种气体管理系统>>9.1.1使用特种气体的生产厂房宜设特种气体管理系统。特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报警、阐发的功能、而且对报警进行记录、存储和打印;特种气体管理系统宜为独立的系统,并宜与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统通清点数目据总线相连。>>9.1.2特种气体管理系统应设在全厂动力控制中间,在消防控制室和应急处理中间宜设报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘。>>9.2 特种气体走漏探测系统>>9.2.1储存、输送、使用特种气体的下列地区范围或场所应设置特种气体走漏探测装置。>>1自燃、可燃、毒性气体的使用场所、技能夹层等可能发生气体走漏处;>>2自燃、可燃、毒性气体间;>>3自燃、可燃、毒性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处;>>4生产工艺设备的可燃、自燃、毒性气体接入阀门箱及排风管内;>>5生产工艺设备的特种气体的废气处理设备排风口处;>>6惰性气体房间(氧气探测器)。>>9.2.2配有PLC的气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘宜通过通讯接口与气体管理控制系统通信。>>9.2.3特种气体探测系统可燃、自燃气体、有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警,其中常规的检测报警仅需一级报警,当需要联动控制时,检测装置应具有一级报警和二级报警。在二级报警的同时,输出接点信号至一级报警联动控制系统。>>9.2.4自燃、可燃、毒性气体检测装置报警设定值应按以下要求确定:>>1自燃、可燃气体的一级报警设定值小于或等于25%可燃气体爆炸下限浓度值,二级报警设定值小于或等于50%可燃气体爆炸下限浓度值。>>2毒性气体的一级报警设定值小于或等于50%空气中有害物质的最高允许浓度值,二级报警设定值小于或等于100%空气中有害物质的最高允许浓度值。>>9.2.5自燃、可燃、毒性气体检测装置的检测报警响合时间应符合下列规定:>>1自燃、可燃气体检测报警:廓张式小于20秒,吸入式小于15秒。>>2毒性气体检测报警:廓张式小于40秒,吸入式小于20秒。>>9.2.6 当相对疏密程度小于或等于0.75时,特气探测器应同时设置在开释源上方和厂房最高点易积气处。当相对疏密程度大于0.75时,特气探测器应设置在开释源下方离地面0.5米处。>>9.3 安全举措措施>>9.3.1自燃、可燃、毒性气体的储存、分配及使用场所应设置闭路电视监控摄象机、门禁。>>9.3.2自燃、可燃、毒性气体的储存、分配及使用场所入口宜设置闪光二级管显示屏(LED)。>>9.3.3自燃、可燃、毒性气体的储存、分配、使用场所内及相关建筑主入口、内通道等处应设置灯光闪烁报警装置,灯光颜色应与其它灯光报警装置相区分。>>9.3.4在自燃、可燃、毒性气体的储存、分配、使用场所入口处应设紧急手动按钮,首要紧急手动按钮设在应急处理中间室。>>9.3.5在地震高发地域,使用特种气体的首要生产车间宜设置地震探测装置,信号接入气体探测系统。>>9.3.6防地震系统设计应符合下列要求:>>1气体站房地震仪应在气瓶柜的基座上设置一台,以气体室为基准点,等距离三角形延长厂区内另两点。地震仪不得设置于人员进出频繁的所在,且应避免受外力滋扰而造成误动作;>>9.3.7封闭的可燃、自燃气体的特种气体间宜采用防爆红外/紫外火焰探测器。>>9.3.8气体站房应配置防毒遮挡面部的东西、自吸式防毒遮挡面部的东西等安全防护举措措施>>9.4 气体报警的联动控制>>9.4.1气体探测系统明确承认气体走漏时,不佣人力启动相应的事故排风装置,并接受反馈信号。>>9.4.2气体探测系统明确承认气体走漏时,不佣人力封闭相关部位的气体切断阀,并接受反馈信号。>>9.4.3气体探测系统明确承认气体走漏时,启动走漏现场的声光报警装置,该声光报警应有别于火灾报警装置,不佣人力启动应急广播系统。>>9.4.4气体探测系统明确承认气体走漏后,应封闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门,不佣人力开释门禁门,可联动CCTV系統,启动相应地区范围的摄像机,并不佣人力录像。>>9.4.5气体探测系统明确承认气体走漏时,信号传至闪光二级管显示屏(LED),并告知现场人员。>>9.4.6地震探测装置探测到里氏5级以上地震,且两台地震探测装置同时报警时,特种气体管理控制系统明确承认收到的信号后,启动现场的声光报警装置。同时,应封闭气瓶的切断阀,且气瓶柜、气瓶架及阀门箱的阀门必须动作;>>10 给水排水及消防>>10.1 给水排水>>10.1.1管道外表可能结露时,应采取防护办法。>>10.1.2特种气站内的用水,除间断供水将造成较大损失外,可以采用单路供水。>>10.1.3特种气体站排出的废水,应排入废水处理站处理合格后排放。>>10.1.4毒性、腐蚀性气体的特种气体间应设置紧急洗眼器。>>10.2 消防>>10.2.1特种气体间室表里消火栓的设计应符合现行国度规范《建筑设计防火规范》GB50016的规定。>>10.2.2特种气体间中应配置手提消防工具,其设计应满足现行国度规范《建筑消防工具配置规范》GB50140的规定。>>10.2.3特种气体间内存储的特种气体与水不发生反映时,该特种气体间应设置湿式不佣人力喷水灭火系统。>>1喷水强度8L/min.m2,保护平面或物体表面的大160m2。>>2当特气柜中自带水喷淋系统时,在厂房内设置的不佣人力喷水灭火系统应为该系统预留管道和信号阀。>>10.2.4特种气体间内存储的特种气体如与水可发生剧烈反映,该特种气体间严禁采用水消防系统。>>11 采暖通风与空气调治>>11.1 通风>>11.1.1特种气体间应设置连续的机械通风系统,通风系统应满足气柜的排风要求,并应满足房间最小通风换气次数每小时6次。>>11.1.2特种气体气瓶柜和阀门箱应设置机械排风装置。>>11.1.3 凡属下列情况之一时,应分设排风系统:>>1两种或两种以上的气体有害物混淆后能引起燃烧现象或爆炸时;>>2混淆后发生反映,形成危害性更大或腐蚀性的混淆物、化合物时;>>3混淆后形成粉尘。>>11.1.4特种气体站房应设置事故通风,事故通风量宜根据事故走漏量计算确定,但换气次数不应小于每小时12次。特种气体房间外应设置紧急按钮。>>11.1.5特种气体排风管道应采用不燃材料建造。>>11.1.6可燃气体气瓶柜和阀门箱的排风与主排风管道连接的支管应采用刚性风管,不得使用柔性风管或软管。>>11.1.7房间排风口位置应根据特种气体特性确定,当相对疏密程度小于或等于0.75时,房间排风口应设置在房间上部,当相对疏密程度大于0.75时,房间排风口应设置在房间的下部。>>11.1.8特种气体间排风,应根据排风的危害性设置相应的处理装置。>>11.1.9特种气体间通风系统应设置备用机组。特种气体间通风系统电源应设置应急电源。>>11.1.10可燃气体和氧化性气体的排风管应设置防静电接地装置。>>11.1.11特种气体站房排风系统不应与火灾报警系统连动控制,严禁封闭排风系统。>>11.2 空调>>11.2.1特种气体间宜设置空调系统,并应符合下列规定:>>1.室内温度、湿度设计参数应满足气柜的要求。当气柜无具体要求时,室内设计参数宜满足23±3℃,30~70%。>>2.不应采用循环空气。>>11.2.2空调风管不应穿越特种气体房间之间的分隔墙,当必须穿越时,应安装防火阀。>>11.2.3空调系统宜设置备用空调机组,或采用适当办法包管在空调机组维护或故障时,特种气体房间能取得足够的补风。>>11.2.4空调系统宜设置应急电源。>>11.2.5特种气体间空调风管应采用不燃材料建造,保温采用应采用不燃或难燃材料。>>11.2.6空调风管应设置防静电接地装置。>>12 特种气体系统工程动工>>12.1 一般规定>>12.1.1特种气体系统工程焊接动工除应执行本规范规定外,尚应符合现行国度规范《现场设备、工业管道焊接工程动工及验收规范》GB50236的规定。>>12.1.2从事特种气体系统工程动工的单位必须具有相应的动工和检测设备。>>12.1.3特种气体系统工程中不锈钢管必须采用全不佣人力轨道氩弧焊机高纯氩气保护焊接,焊工应颠末不佣人力焊机操作培训合格持证上岗。>>12.1.4安装和试验检测用计量用具应检定合格并在其有效期内使用。>>12.1.5特种气体系统工程动工前必须编制专项动工方案,并经业主审批后实行。>>12.1.6首要设备与材料进场时应查抄产品合格证、质量包管书、性能测试陈诉及安装、使用、维护和试验要求等技能文件应齐全,规格、型号、数量、设备附件及专用东西应满足合同要求,查验结论应有记录。>>12.1.7进口设备、材料进场应提供商检证明和中文的质量合格证明文件、规格、型号、性能测试陈诉以及中文的安装、使用、维护和试验要求等技能文件。>>12.1.8进场设备、材料必须符合本规范和相关技能规范规定,查抄结果不合合适要求时,不得在工程中使用。>>12.1.9设备与材料进场验收、焊接试件鉴定事项,建设单位技强人员必须在场。>>12.1.10特种气体间电气工程的安装应符合现行国度规范《建筑电气工程动工质量验收规范》GB50303和《工业不佣人力化仪表工程动工及验收规范》电气防爆和接地的规定。>>12.1.11风管系统的安装除应符合本规范的规定外,还应符合现行国度规范《通风与空调工程动工质量验收规范》GB50243的规定。>>12.2 首要设备、材料进场验收>>12.2.1气瓶柜进场验收应符合下列要求:>>1气瓶柜外包装上防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标示完整无损;>>2气瓶柜体应由厚度不小于2.5mm的钢板构成密闭箱体,表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓;柜体顶部应有抽风口和消防喷淋口,柜门下方应有可调治的带空气过淋网的进风口,柜门应有可开启的带防爆玻璃的小门。>>3气瓶柜都必须标示气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标示,气瓶柜内管线、阀体及附件的连接图;>>4柜内引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵;>>5气瓶柜柜门必须安装能不佣人力关门的闭门器;>>6气瓶柜的功能配置必须满足设计及合同要求,不得有缺项。>>12.2.2阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定:>>1阀门箱应符合本规范的安全要求;>>2阀门箱表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓,顶部要有抽风口;>>3阀门箱内阀门的规格数量与功能配置应满足设计与合同要求;>>4阀门、仪表与阀门盘盘面之间应有专用阀门支撑件。支撑件材质应采用不锈钢。不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在盘面上;>>5阀门盘上特气管路阀门接头应采用径向面密封连接,不应采用线密封(卡套)连接。>>6阀门箱和阀门盘的阀件之间的连策应采用不佣人力轨道氩弧焊接或面密封(VCR)连接。>>7阀门箱和阀门盘的结构应牢固靠得住,有专门的固定点,盘面应有控制气体的标识和铭牌,盘内气体管道的种类、流向,控制阀门应有明显标识。>>8阀门箱必须标示气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标示;>>12.2.3尾气处理装置进场验收应符合下列规定:>>1燃烧现象设备进场应对外不雅、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行查抄和查对;>>2燃烧现象设备的首要构成件、附件应符合设计与合同的要求,RAND资料和专用东西应齐全;>>3酸碱中和装置的涤荡塔、风机、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外不雅查抄,应符合设计和合同要求,RAND资料应齐全;>>4尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试陈诉,铭牌、标识应齐全。>>5系统流程图、控制原理图,设备使用说明书资料齐全。>>12.2.4管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定:>>1在非干净室全部目测查抄管道外包装,不得有破损、变形;>>2经查抄合格的管道、管件及阀门的端口应立即将防尘管帽装好或用聚乙烯薄膜包好,并按种类、规格分别存放在干净间的货架上,不得直接放在地面上。房间的干净度不应低于7级(0.5μm);>>3所有进场的阀门必须提供产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、查验陈诉,并有编号;>>4电气设备应有防腐蚀和防爆标识,符合相关国度规范。>>12.2.5管道、管件和阀门应在干净地区范围内进行内包装开封查抄,查抄项目及要求如下:>>1管道、管件、阀门应有独立的内包装,包装符合干净要求,端口均应装有防尘帽;>>2管道、管件、阀门查验后必须恢复内包装及防尘帽;>>3管道外不雅查抄应按全部的5%抽查,规格尺寸、壁厚, 真圆度、端面平整度等应符合产品技能要求,且表里表面均无刮痕及斑点;>>4材质查抄宜采用便携式金属光谱阐发仪查抄,每批每种规格应RAND抽查5%,且不得少于1件,其化学成分应符合产品技能要求;>>5管道、管件内表面粗拙度应采用样品比较法在管道两端查抄,每批每种规格应RAND抽查5%,且不得少于1件;>>6管道内壁平均表面粗拙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足工程施图设计文件的要求;>>12.3 气瓶柜的安装>>12.3.1气瓶柜必须按照设计图纸的要求定位,同时应具有人员操作空间、门的开启空间、气体钢瓶的运输空间和人员逃生通道及管道安装空间。>>12.3.2气瓶柜就位找平找正后,应固定牢固。>>12.3.3气瓶柜的垂直度偏差不得大于1.5‰,成列盘面偏差不应大于5mm。>>12.3.4气瓶柜的安装必须包管柜门开关自若,不得扭曲变形,封闭不严。>>12.4 阀门箱与阀门盘的安装>>12.4.1阀门箱和阀门盘宜固定在专用支座上或用固定支架固定在梁、柱与墙上,不宜将阀门箱直接固定在地面上。阀门箱应采用独立的支吊架,不得哄骗管道做支撑。>>12.4.2阀门箱和阀门盘的支座宜采用专用镀锌型钢、专用喷塑型钢或专用不锈钢型钢装配式连接,不宜采用焊接。>>12.4.3阀门箱和阀门盘的垂直度偏差不得大于1.5‰,成列盘面偏差不应大于5mm。>>12.4.4阀门箱与阀门盘就位找平找正后,应固定牢固。>>12.4.5连接阀门与阀门盘、阀门盘与阀门箱的螺栓应为不锈钢螺栓,严禁阀门和管路系统直接与易孕育发生锈蚀的器件直接接触。>>12.4.6阀门箱与阀门盘就位必须按照设计图纸的要求定位,同时必须考虑人员操作空间、门的开启空间和管道接口的距离。>>12.5 特种气体管道安装>>12.5.1特种气体管道安装应符合下列规定:>>1特种气体管道、管件、阀门的材质、型号规格、等级均应满足设计要求;>>2特种气体管道系统的阀门必须安装在气瓶柜或阀门箱内;>>3特种气体系统的阀门、过淋器、调压阀、仪表等附件的连策应采用不佣人力轨道氩弧焊接或面密封(VCR)接头,严禁采用螺纹或卡套体式格局连接;>>4面密封接头的密封垫片必须使用不锈钢垫片或镍垫片,严禁将使用过的垫片再次使用,严禁在同一密封面上使用两个或以上的垫片,严禁将垫片及面密封部件端面划伤。>>5管外径大于12.7mm的管道弯头应采用成品弯头;管外径小于等于12.7mm的弯头可在现场使用专用弯管器弯制,BA级管道弯头弯曲半径不小于管外径的3倍,EP级管道弯头弯曲半径不小于管外径的5倍,弯制弯头的变形率应小于5%。>>6特种气体管道的专用弯管器规格必须与管道规格相匹配,严禁公制弯管器与英制弯管器混用;>>7当安装竣事时,所有系统内部策应充高纯氩气或氮气进行正压保护。>>8特种气体管道与生产工艺设备之间连策应采用不锈钢面密封接头或不佣人力轨道氩弧焊,不得采用非金属软管连接。>>12.5.2特种气体管道连策应符合下列规定:>>1管道连策应使用不佣人力轨道氩弧焊,所用氩气纯净度不得小于99.999%,焊接用气体应加装可调治流量计显示气体流量,内保护气应装压力表监视检测管内压力;>>2在作业过程当中应戴上干净无尘手套,在干净环境内下料、焊接、预制等各项操作,严禁裸手接触管道内壁;>>3小口径不锈钢管道切割时可使用不锈钢管切管器,切割后应用平口机处理管口,并使用专用倒角器将管口处理圆滑,切口管端应垂直、无毛刺、不变形,满足不加丝不佣人力焊要求。>>4平口机加工余量为壁厚的1/10～1/5,加工时将该处理端管口向下,加工完成后应在管口附近轻小扣打几下或用高纯氮气吹扫,以包管处理后的管道里面没有铁屑。严禁将刚切割完毕的管路口向上;>>5管外径大于12.7mm的管道切割宜使用不锈钢管干净动工专用切割机,切割时严禁使用润滑油;切口端面应垂直、无毛刺、不变形,满足不加丝不佣人力焊要求;严禁使用手工锯、砂轮切割机切割;>>6进行切管作业时,应将高纯氮气通入管内吹扫;>>7切管作业不得将管道外壁损伤,倒角作业时不得将管道内壁损伤,不得采用十锦锉对管道进行倒角;>>8管道吹扫完毕,应使用不产尘的干净布沾上异丙醇或酒精将切口部清洗干净,清洗干净后迅速用干净防尘帽或干净纸胶带将管路口封堵;>>9配管切割竣事后剩余管道应加干净防尘帽后装回包装袋中;>>10对接焊口必须包管接口处两侧的管道中间在同一直线上;>>11不得在焊口的位置进行弯管操作;>>12焊接过程当中必须保持管道、管件处于静止状态,焊接电源必须采用不变的专用电源并加装稳压器;>>13管道预制焊接总长度不宜超过12m,预制时应放置在专用支座上,支点数量不得少于4个;>>14超过3米长的管道应采用2人以长进行搬运,预制时每3m长度应增加一个支点;>>15大口径特气管道焊接前应先采用手工氩弧焊机进行不加丝点焊预连接,点焊时管内须通高纯氩气进行保护,点焊后应对焊点进行干净处理;(采用不佣人力焊接瞄准装置除外)。>>12.5.3特种气体管道系统材料的清洗、下料、焊接、预制应在干净室进行。干净室应符合下列要求:>>1室内干净度不低于7级,湿度不高于60%;>>2焊接作业间干净度不低于6级,且应安装排风举措措施;>>3应安装压差计随时监视检测室表里压差,并始终保持室内10Pa以上的正压;>>12.5.4特种气体管道焊策应符合下列要求:>>1动工单位在工程开工前应对该工程所参加的焊工在现场进行认证,对各种规格的管道焊接样品、焊接合格明确承认单提交处理建设单位,经建设单位项目技能负责人签字明确承认后方能进行焊接动工,动工单位需保留合格的样品和记录;>>2动工过程当中应在每天正式焊接前、每次更换焊头后、更换钨棒后、转变焊接口径后都应进行焊接测试,焊接测试样品经质量查验员查抄合格并填写焊接合格明确承认单后方可正式施焊;每天在竣事焊接前也应进行焊接测试,以查抄之前所焊焊口是否合格;>>3焊机应使用专用配电箱,若电源电压不不变应使用不佣人力稳压装置供电。焊机本体应靠得住接地;>>4特种气体管道焊接前应绘制特种气体系统的单线图,在单线图上应对焊口进行编号,单线图的焊口编号应与焊接记录的焊口编号一致;>>5焊接前应编制焊接作业指导书,焊接过程当中应做焊接记录,焊口应统一编号,标明作业时间、焊接作业人、焊接首要参数等;>>6动工过程当中不应间断管道内保护气体,焊接时的流量当管外径在6㎜～114mm之间分别为5L～15L/min,动工间断时流量应分别为2L～5L/min;>>7焊缝合格规范为管内、管外焊缝突起高为不大于管道壁厚的10%,焊缝外焊道应为管璧厚2.5-4倍,内焊道应不小于外焊道的2/3宽,焊缝不得有下陷、未焊透、不同轴、咬边等缺陷, 焊道内表面无氧化。焊缝错口量不超过管壁厚度的10%;>>12.5.5特种气体室外配管应符合下列规定:>>1室外动工时,应将带包装的管道、管件搬至临时干净加工厂加工;>>2室外焊接作业前应将包装袋内的定尺管段放在管架长进行预连接,管内部策应保持2L～5L/min氩气流量;>>3在干净室加工完成的组件应使用塑料薄膜包装,搬至安装场所组焊安装;>>4预制的每个单元管线均应采用高纯氮气或高纯氩气吹扫;>>5管道支架宜使用碳钢喷塑、不锈钢、合金铝制的槽式桥架组合而成,桥架弯头应与管道曲率半径相适应;>>6 在现有综合支架上安装特种气体管时,应复核安装空间和载重量,确定是否对综合支架进行加固;>>7室外支架应进行强度计算,并应试虑地震、强台风的影响;>>8有震动的场合管道应设置减震支架;>>9特种气体管采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时,应采用树脂薄板将不锈钢槽式桥架与钢制的综合支架隔离;>>10特种气体管道的管卡应采用镀镍或不锈钢专用管卡;>>11管道穿墙部位应加套管,套管内部策应使用难燃材料填充套管与管道间的间隙,在墙两侧用0.6㎜～1.0mm厚不锈钢板封堵,并用密封胶收缝;>>12室外管道须做好防雷及接地保护;>>12.5.6特种气体室内管道配管应符合下列规定:>>1在干净房内动工作业时,应在前室除去外包装,在临时干净加工厂加工完成的组件应用塑料薄膜包装,用夹具定位后行预连接;>>2室内配管应采用专用支架,不得哄骗工艺设备、排风管及其他系统管道的支架,支架可用不锈钢、喷塑型钢或铝制品专用支架,且与管卡相匹配;管卡宜使用不锈钢卡,采用碳钢管卡时,管卡应镀镍;>>3管道穿行墙壁时,管道与壁孔之间应留有间隙,在墙壁两侧用0.6㎜～1mm mm厚不锈钢板封堵,并用密封胶收缝;>>4管道贯穿行沉降缝或伸缩缝时,配管应做成能吸收来自三个方向外力的铰链连接式补偿器;>>5对防微振要求较高的工艺设备,特种气体管道与用气设备之间应采用不锈钢金属软管连接;>>6管道支架、吊架必须在刚性结构上设置固定支架。有微振的场合管道固定应紧固,必要时增加固定点;>>7支架不得采用气割,应采用机械切割,切割后的端头应倒角并用环氧漆处理后加盖塑料封头;>>8阀门箱内预留的阀门必须安装堵头;>>9管道平行敷设中间间距,当管外径在6㎜～12mm或1/4″～1/2″之间时应不小于20mm。>>10管道支架间距为管外径小于等于10mm时应不大于1.2m,管外径大于等于12mm时应不大于1.5m;>>111/2”及以下管道宜使用π型不锈钢管卡,3/4”及以上宜使用P型不锈钢管制。>>12管道与支架、管道与管卡之间的应垫上绝缘垫片,管道不得直接接触任何未经处理的碳钢件;>>13吹扫氮气、气动氮气、仪表氮气的管道可从干管接出,分支宜向上且不得从干管的弯管处接出;从多根成排管道上分别引出支管时,应交错有序布置;>>14配管应严格按批准的动工图动工,不得转变管径,严禁在管道系统中出现盲管;>>15多条管道共同铺设时应成排成行,阀门应集中放置;>>12.5.7低蒸汽压特气管道动工除应符合本规范第12.5.4的规定外,还应符合下列规定:>>1管路应安装伴热带并用保温棉包覆管路;>>2当管道穿越温差较大地区范围或管线较长时必须分段加热。>>3,伴热保温系统应装有温控和报警装置;>>4,低蒸汽压气体设备摆放时应试虑尽量缩短管道的长度;>>12.5.8双套管特种气体管道的动工除应符合本规范第12.5的规定外,还应符合下列规定:>>1双套管焊接动工时,先实行内管的焊接,在焊口处必须安装滑套;>>2双套管动工内管和外管都必须采用全不佣人力轨道氩弧焊接,内管和外管焊接时都必须充高纯氩气保护;>>3内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏,明确承认内管无泄露后,才可以焊接外管上的滑套。>>4双套管的内管和外管之间应安装弹簧进行隔离,内管和外管不得直接接触;5双套管的动工应采用封闭式套管动工,并安装压力监视检测装置;如采用开放式套管动工,则须加泄露探测仪器并与安全报警系统连锁。>>12.6 特种气体管道改扩建工程动工>>12.6.1改建、扩建、拆除特种气体管道工程的动工除应符合本规范第12.5和12.9节的规定外,尚应符合下列规定:>>1动工单位在开工前必须编制动工方案。内容应包含重点部位、作业过程注意事项,危险作业过程的监控,应急预案,紧急联系电话和专门负责人,对潜在的危险向动工人员进行详尽的技能交底;>>2作业中一旦发生火灾、危险物质走漏等事故,必须从命统一批示,按逃生路线依次撤离;>>3动工中进行焊接等明火作业时,必须取得建设单位签发的动火许可证及动用消防举措措施许可证;>>4生产区与动工区之间应采取临时隔离办法及设置危险警示标志;>>5动工人员严禁进入与动工无关的地区范围;>>6动工现场必须有业主和动工方的技强人员在场,阀门的开关动作、电气开关动作、气体置换操作等都必须由专人在业主技强人员的指导下完成,未经许可,严禁操作。对切割改造工作必须提前在被切割管道全线和切割处明显标示,被标示管道现场需获得业主和动工方的技强人员明确承认,严防误操作。>>12.6.2动工前必须将管道内的气体用高纯氮气充分置换,且应将管道系统抽真空处理,; 被置换出的气体必须颠末尾气处理器处理,达标排放。>>12.6.3改造管道在切割前应保持常压,动工人员必须穿戴防护用品;严禁管内真空状态下进行切割。>>12.6.4动工完毕、测试合格后,应将管道系统的空气用氮气吹扫干净并使管道系统处于正压状态。>>12.6.5进入干净室(区)作业的人数应控制:干净度为5级和更严的干净室(区)人员疏密程度不大于0.1人/m2,低于5级的干净室(区)人员疏密程度不大于0.25人/m2为好。>>12.7 特种气体系统的查验>>12.7.1特种气体系统安装完成后应对系统进行查验。>>12.7.2特种气体系统安装完成后查抄系统的设备、管道、配件及阀门的规格、型号、材质及连接形式应符合设计要求。支架设置应合理牢靠,焊缝外不雅质量查抄合格。>>12.7.3管道动工完毕,应逐点查抄每个系统连接的不错性,阀门应有与图纸不异的编号,并有显示开关的状态显示牌。>>12.8 尾气处理装置的安装>>12.8.1尾气处理装置安装除执行本规范外,尚应符合现行国度规范《机械设备安装工程动工及验收通用规范》的规定。>>12.8.2尾气处理装置的安装人员必须经培训考核持证上岗。>>12.8.3尾气处理装置的根蒂根基必须坚固平整,设备的水平度不得大于3‰。>>12.8.4系统阀门应开关灵活,锁定装置靠得住。>>12.8.5每个系统的管线及阀门都应贴上不错醒目的标识。>>12.8.6尾气排气系统的管道必须颠末脱脂处理,严禁使用含有油份的管道。>>12.9 生命安全举措措施安装>>12.9.1 动工人员在生产、动工地区范围内,严禁任意搬弄各种阀门、开关、按钮;>>12.9.2 特种气体报警装置的安装应符合设计规定,并满足下列要求:>>1 当相对疏密程度小于或等于0.75时,报警装置探头应安装在所处场所的顶部;>>2 当相对疏密程度大于0.75时,报警装置探头应安装在所处场所离地面0.5处;>>13 特种气体系统验收>>13.1 一般规定>>13.3.1特种气体系统验收包括设备验收、管路系统验收和气体探测/监控系统验收等。>>13.3.2特种气体系统的验收应符合现行国度规范《工业金属管道工程质量查验评定规范》GB50184和《工业金属管道工程动工及验收规范》GB50235的规定。>>13.2 设备验收>>13.2.1机械部件验收>>1.外不雅和流程查验>>对照流程图、配置表、钢瓶接口形式等设计参数进行查验,包括管道横平竖直、焊接质量、调治阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过淋器规格、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、VCR安装、管道支架安装、吹扫入口管径、工艺出口管径、排放口管径、危险标签等。>>2.仪器测试>>查抄出厂各项仪器测试陈诉,包括保压、氦检、颗粒度、水分、氧分等测试。参见管路与系统验收章节。>>13.2.2控制部件验收:>>根据控制逻辑,查抄各监视检测和联动部件的功能,包括压力传感器、电子秤、过流开关、高温开关、火焰探测器、负压开关、紧急切断、输入电源、输入输出信号、接地保护、功能联动测试等。设备供应商提供现场设备功能调试陈诉。>>12.2.3尾气处理设备验收:>>外不雅查抄:根据设计文件,查抄尾气处理器的型号、流程、配管、配电、仪表量程、标签、说明书、出厂测试陈诉等;>>性能查抄:测量仪表显示、本体阻力、漏风率、噪音、滴漏、处理量、去除效率、报警连锁测试、紧急切断等。设备供应商提供现场设备功能调试陈诉。>>13.3 管路与系统验收>>13.3.1外不雅查验>>1查抄管件的安装位置和方向是否符合照流程图;>>2查抄焊接管道出格是弯管处是否有裂缝;>>3查抄管道对焊是否符合下列要求:>>凹陷度13.4 气体侦测/监控系统验收>>13.4.1特种气体探测器>>对照设计文件查抄气体探测器的类型、报警设定值(应小于TLV-TWA)、探头标定时间、安装位置、数量、排放管道位置、电源信号接线、出厂质量文件等。对所有探测器的输出信号应进行模拟测试。>>13.4.2特种气体系统查抄>>1对照设计文件,查抄内存和硬盘容量、CPU、控制箱面板、输入输出设备位置和数量、电缆规格、电源、接地等。根据控制逻辑,对各报警和切断信号进行模拟测试,查抄声光报警和联动系统的动作。测试系统启动、报警解除步骤。>>2测试软件系统图形与现实系统的一致性、操作系统、登录安全级别、远程登录、历史数据存储位置、短信通知、通讯协议、反映速度等。>>附录A 电子工业用特种气体的首要物化性质(单一气体)>>特种气体的危险性质>>特种气体的物理性质>>分子式>>特气状态 @ 70 F>>特气压力. @ 70°F>>LC50 (ppm) – CGA>>TLV-TWA (ppm) ACGIH>>LFL % in air>>UFL % in air>>分子量>>比重. (air =1)>>比容. ft^3/lb>>临界温度. (F)>>临界压力. (psig)>>C2H2>>G>>250>>->>->>2.5%>>100%>>26.04>>0.91>>14.76>>97.0998>>890.209>>NH3>>L>>114>>7338>>25>>15%>>28%>>17.03>>0.59>>22.48>>269.8>>1621.3>>Ar>>G>>2640>>->>->>->>->>39.95>>1.38>>9.67>>-188.7>>691.067>>AsH3>>L>>203>>20>>0.05>>5.1%>>78%>>77.95>>2.70>>4.91>>211.49>>985.3>>BBr3>>L>>-13.7>>380>>1>>->>->>250.54>>2.64>>8.60>>571.67>>1072.8>>BCl3>>L>>5.20>>2541>>5>>->>->>117.17>>4.04>>3.30>>353.84>>546.6>>CO2>>L>>838>>->>->>->>->>44.01>>1.53>>8.74>>87.5596>>1056.3>>CO>>G>>2000>>3760>>25>>12%>>75%>>28.01>>0.97>>13.80>>-220.744>>470.85>>Cl2>>L>>83.7>>293>>0.5>>->>->>70.91>>1.57>>5.38>>290.87>>1103.7>>ClF3>>L>>5.80>>299>>0.1>>->>->>92.50>>3.14>>4.20>>345.2>>823.2>>B2H6>>G>>2100>>80>>0.10>>0.8%>>88%>>27.70>>0.95>>14.05>>62.1>>566.1>>SiH2Cl2>>L>>9.5>>314>>5>>4.7%>>96%>>101.00>>3.47>>3.84>>348.8>>678.2>>CF4>>G>>2000>>->>->>->>->>88.00>>3.04>>4.38>>-50.5203>>528.46>>CHF3>>L>>611>>->>->>->>->>70.01>>2.44>>5.47>>78.3298>>686.72>>CH2F2>>L>>232>>->>->>14%>>31%>>52.02>>1.80>>7.43>>173.2>>830.9>>CH3F>>L>>538>>->>->>34.03>>1.18>>11.36>>112.2>>837.7>>C2F6>>L>>417.5>>->>->>->>->>138.01>>4.82>>2.77>>67.5>>417.5>>C5F8>>L>>-2.5>>1124>>2>>->>->>212.04>>6.33>>2.11>>322.6>>415.9>>F2>>G>>400>>185>>1>>->>->>38.00>>1.31>>10.17>>-200.24>>741.7>>GeH4>>G>>638>>571>>0.2>>8.0%>>30%>>76.60>>2.65>>5.02>>He>>G>>2640>>->>->>->>->>4.00>>0.14>>96.65>>-450.638>>18.291>>H2>>G>>2640>>->>->>4.0%>>75%>>2.02>>0.07>>191.90>>-400.71>>372.786>>HBr>>L>>301>>2860>>3>>->>->>80.92>>3.50>>4.74>>193.67>>1225.7>>HCl>>L>>614>>3120>>5>>->>->>36.50>>1.19>>10.55>>124.52>>1185>>HF>>L>>0.9>>1300>>3>>->>->>20.01>>0.99>>13.47>>574>>2939.3>>H2S>>L>>249>>712>>10>>4.3%>>46%>>34.08>>1.19>>11.26>>212.479>>1291.77>>CH4>>G>>2400>>->>->>5.0%>>15%>>16.04>>0.56>>24.06>>-116.5>>658.391>>NO>>G>>400>>115>>25>>->>->>30.01>>1.04>>12.88>>-135.551>>934.661>>N2>>G>>2640>>->>->>->>->>28.01>>0.97>>13.80>>-232.78>>477.641>>NF3>>G>>1450>>6700>>10>>->>->>71.00>>2.46>>5.43>>-38.8001>>632.2>>N2O>>L>>737>>->>50>>->>->>44.01>>1.53>>8.74>>97.2793>>1038.57>>O2>>G>>2640>>->>->>->>->>32.00>>1.11>>12.08>>-182.15>>714.402>>PH3>>L>>479>>20>>0.30>>1.6%>>98%>>34.00>>1.17>>11.30>>124.55>>933.21>>SiH4>>G>>1260>>19k>>5>>1.4%>>97%>>32.12>>1.11>>11.97>>25.46>>687.8>>SiCl4>>L>>-10.7>>750>>5>>->>->>169.90>>5.89>>2.28>>452.6>>529.053>>SiF4>>G>>1000>>450>>->>->>->>104.08>>4.67>>3.69>>6.19995>>524.6>>SO2>>L>>34.6>>2520>>2>>->>->>64.06>>2.25>>5.94>>315.2>>1127.3>>SF6>>L>>295>>->>1000>>->>->>146.05>>5.11>>2.61>>113.7>>530.5>>SiHCl3>>L>>-5.2>>1040>>5>>7.0%>>83%>>135.50>>4.67>>2.84>>402.5>>590.1>>WF6>>L>>2.44>>217>>3>>->>->>297.84>>10.67>>1.26>>337.4>>604.6>>Xe>>G>>645>>->>->>->>->>131.30>>4.56>>2.93>>61.5498>>832.38>>附录B 电子工业用特种气体举例>>气体名称>>特种气体的危险性质>>化学名>>分子式>>气体状态 @ 70 F>>气体压力. @ 70°F>>惰性>>氧化性>>腐蚀性>>毒性>>可燃性>>自燃性>>水反映性.>>健康等级>>燃烧现象等级>>反映等级>>LC50 (ppm)>>TLV-TWA (ppm)>>LFL>>UFL>>电石气>>C2H2>>G>>250>>F>>0>>4>>3>>->>->>2.5%>>100%>>氨气>>NH3>>L>>114>>C>>LT>>F>>3>>1>>0>>7338>>25>>15%>>28%>>氩气>>Ar>>G>>2640>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>砷化氢>>AsH3>>L>>203>>HT>>F>>4>>4>>2>>20>>0.05>>5.1%>>78%>>三溴化硼>>BBr3>>L>>-13.7>>C>>T>>W>>3>>0>>2>>380>>1>>->>->>三氯化硼>>BCl3>>L>>5.20>>C>>T>>3>>1>>2541>>5>>->>->>二氧化碳>>CO2>>L>>838>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>一氧化碳>>CO>>G>>2000>>LT>>F>>3>>4>>0>>3760>>25>>12%>>75%>>氯气>>Cl2>>L>>83.7>>O>>C>>T>>4>>0>>0>>293>>0.5>>->>->>三氟化氯>>ClF3>>L>>5.80>>O>>C>>T>>W>>4>>0>>3>>299>>0.1>>->>->>已硼烷>>B2H6>>G>>2100>>C>>HT>>F>>P>>W>>4>>4>>3>>80>>0.10>>0.8%>>88%>>二氯二氢硅>>SiH2Cl2>>L>>9.5>>C>>T>>F>>W>>4>>4>>2>>314>>5>>4.7%>>96%>>F-14>>CF4>>G>>2000>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>F-23>>CHF3>>L>>611>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>F-32>>CH2F2>>L>>232>>F>>0>>4>>0>>->>->>14%>>31%>>F-41 [氟化甲基]>>CH3F>>L>>538>>F>>0>>4>>0>>->>->>F-116 [六氟乙烷]>>C2F6>>L>>417.5>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>F-C418 [八氟化五碳]>>C5F8>>L>>-2.5>>T>>3>>1>>0>>1124>>2>>->>->>氟气>>F2>>G>>400>>O>>C>>HT>>W>>4>>0>>4>>185>>1>>->>->>锗化四氢>>GeH4>>G>>638>>T>>F>>P>>4>>4>>3>>571>>0.2>>8.0%>>30%>>氦气>>He>>G>>2640>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>氢气>>H2>>G>>2640>>F>>0>>4>>0>>->>->>4.0%>>75%>>溴化氢>>HBr>>L>>301>>C>>T>>3>>0>>0>>2860>>3>>->>->>氯化氢>>HCl>>L>>614>>C>>LT>>3>>0>>1>>3120>>5>>->>->>氟化氢>>HF>>L>>0.9>>C>>T>>4>>0>>1>>1300>>3>>->>->>硫化氢>>H2S>>L>>249>>T>>F>>4>>4>>0>>712>>10>>4.3%>>46%>>甲烷>>CH4>>G>>2400>>F>>0>>4>>0>>->>->>5.0%>>15%>>一氧化氮>>NO>>G>>400>>O>>HT>>3>>0>>0>>115>>25>>->>->>氮气>>N2>>G>>2640>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>三氟化氮>>NF3>>G>>1450>>O>>LT>>2>>0>>1>>6700>>10>>->>->>氧化二氮>>N2O>>L>>737>>O>>0>>0>>0>>->>50>>->>->>氧气>>O2>>G>>2640>>O>>0>>0>>0>>->>->>->>->>磷化氢>>PH3>>L>>479>>HT>>F>>P>>4>>4>>2>>20>>0.30>>1.6%>>98%>>硅烷>>SiH4>>G>>1260>>F>>P>>2>>4>>3>>19k>>5>>1.4%>>97%>>四氯化硅>>SiCl4>>L>>-10.7>>C>>T>>W>>3>>0>>2>>750>>5>>->>->>四氟化硅>>SiF4>>G>>1000>>C>>T>>W>>3>>0>>2>>450>>->>->>->>二氧化硫>>SO2>>L>>34.6>>C>>T>>3>>0>>0>>2520>>2>>->>->>留氟化硫>>SF6>>L>>295>>I>>1>>0>>0>>->>1000>>->>->>三氯氢硅>>SiHCl3>>L>>-5.2>>C>>T>>F>>W>>3>>4>>2>>1040>>5>>7.0%>>83%>>六氟化钨>>WF6>>L>>2.44>>C>>T>>4>>0>>2>>217>>3>>->>->>氙气>>Xe>>G>>645>>I>>0>>0>>0>>->>->>->>->>注:1. P:自燃性>>2. F: 可燃性>>3. O: 氧化性>>4. T: 毒性,LT:低毒性,HT:高毒性>>5. C: 腐蚀性>>6. W: 水反映性>>7. LC50:毒性物质使受试生物死亡一半所需的浓度>>8. TLV-TWA:员工在无限长时间内每天工作8小时、不会受到危险作用的最高浓度。>>9. LFL:可燃物质在空气中的最低失火浓度>>10. UFL:可燃物质在空气中的最高失火浓度>>附录C 特种气体管道氦检漏方法>>1所有可能走漏点需要用塑料袋隔离;>>2氦检漏应采用质谱式检测仪,其检测下限不低于1×10-10 mbar.l/s (即atm.cc/sec);>>3特气系统宜采用内向测漏法;>>4内向测漏法测试不得高于1×10-9 mbar.l/s>>5阀座测漏不得高于1×10-6 mbar.l/s>>6外向测漏法测试不得高于1×10-6 mbar.l/s>>7氦检漏的测试挨次为:内向测漏、阀座测漏、外向测漏;>>8检测漏点修补后,必须重新颠末保压测试,然后才能再进行氦检漏;>>9系统测试完毕,应充入高纯氮气或氩气,并进行吹扫;>>10测试完毕后,应提交处理测试陈诉,见附录D.2。>>附录D 系统验收测试记录表>>附录D.1压力测试记录表>>1、项目信息:>>项目名称:>>项目编号:>>二、测试信息:>>项目>>结果>>测试范围>>描写>>例:SiH4工艺管线>>从/客户内部设备编号>>例:SiH4气柜/GC001>>至/客户内部设备编号>>例:SiH4 VMB/VMB001>>测试结果>>测试介质>>N2ArHe/N2>>测试规范>>低压测试:80 psig x 24Hr, Drop ≤ 1%>>高压测试:1500 psig x 30min, Drop ≤ 1%>>其它>>起始压力>>psig/bar(g)>>月日 时分>>竣事压力>>psig/bar(g)>>月 日时分>>降落比率>>%>>起始温度:>>T1 ℃>>竣事温度:>>T2 ℃>>明确承认>>操作人>>年月日>>项目经理>>年月日>>客户>>年月日>>附录D.2氦检漏测试记录表>>1、项目信息:>>项目名称:>>项目编号:>>二、测试信息:>>项目>>结果>>测试范围>>描写>>从/客户内部设备编号>>至/客户内部设备编号>>测小型试验>>测试设备>>氦测漏仪型号>>型号>>序列号>>测试结果>>测试体式格局>>In-Board Leaking Rate 喷氦法>>Out-Board Leaking Rate 吸枪法>>Cross-Seat Leaking Rate 内漏测试>>测试规范>>≤1 x 10-9mbar.l/s≤2 x 10-9mbar.l/s>>≤5 x 10-6mbar.l/s其它 ≤x 10-mbar.l/s>>测试结果>>x 10-mbar.l/s>>明确承认>>操作人>>年月日>>项目经理>>年月日>>客户>>年月日>>附录D.3颗粒测试记录表>>1项目信息:>>项目名称:>>项目编号:>>请把检测设备打印出的测试结果原稿贴在此处>>二、测试信息>>项目>>结果>>测试范围>>描写>>从/客户内部设备编号>>至/客户内部设备编号>>测小型试验>>测试设备>>测试仪型号>>型号>>序列号>>测试气体>>N2>>其它>>气体流量>>0.1scfm>>其它scfm>>压力>>入口:psig>>出口:psig>>测试结果>>测试规范(增量)>>≤ 1 pcs @.1um/scf>>其它≤ pcs @um/scf>>样品号>>(1)(2)(3)(4)(5)pcs/scf>>明确承认>>操作人>>年月日>>项目经理>>年月日>>客户>>年月日>>附录D.4水分测试记录表>>1、项目信息:>>项目名称:>>项目编号:>>二、测试信息:>>项目>>结果>>测试范围>>描写>>从/客户内部设备编号>>至/客户内部设备编号>>测小型试验>>测试设备>>测试仪型号>>型号>>序列号>>测试气体>>N2>>其它>>入口压力>>80psig>>其它psig>>气体流量>>200sccm>>其它sccm>>测试结果>>测试规范(增量)>>≤10ppb>>其它 ≤ppb>>入口水含量>>ppb>>出口水含量>>ppb>>水含量增量>>ppb>>明确承认>>操作人>>年月日>>项目经理>>年月日>>客户>>年月日>>附录D.5氧分测试记录表>>1、项目信息:>>项目名称:>>项目编号:>>二、测试信息:>>项目>>结果>>测试范围>>描写>>从/客户内部设备编号>>至/客户内部设备编号>>测小型试验>>测试设备>>测试仪型号>>型号>>序列号>>测试气体>>N2>>其他>>气体流量:>>1slpm>>其他slpm>>测试结果>>测试规范(增量)>>≤10 ppb>>其他≤ppb>>入口氧含量>>ppb>>出口氧含量>>ppb>>氧含量增量>>ppb>>明确承认>>操作人>>年月日>>项目经理>>年月日>>客户>>年月日>>本规范用词说明>>1为便于在执行本规范条文时区分看待,对要求严格程度不同的用词说明如下:>>1)表示很严格,非这样做不可的用词:>>正面用词藻用“必须”,违面用词藻用“严禁”。>>2)表示严格,在正常情况下均应这样做的用词:>>正面用词藻用“应”,违面用词藻用“不应”或“不得”。>>3)表示允许稍有选择,在前提许可时首先应这样做的用词:>>正面用词藻用“宜”,违面用词藻用“不宜”。>>4) 表示有选择,在一定前提下可以这样做的,采用“可”。>>2 本规范三拇指明应按其他有关规范、规范执行时,写法为“应符合……的规定”或“应按……执行”。>>援用规范名录>>1 建筑设计防火规范《GB50016-2006》>>2 氢气站设计规范《GB50177-2005》>>3 干净室防护规范《NFPA318-2000》>>4 便携式和固定式容器装、瓶装及罐装压缩气体及低温流体的储存、使用、输送规范>>《NFPA55-2005》>>5 硅烷和硅烷混淆物的存放和处理《AIGA 052/08》>>6 UNIFORM FIRE CODE《1997》>>7 ENVIRONMENTAL,HEALTH AND SAFETY GUIDELINE FOR SICONDUCTOR MANUFACTURE EQUIPMENT《SI S2-0303》>>8 石油化工企业可燃气体和有毒气体检测报警设计规范《SH3063-1999》>>9 硅烷和硅烷混淆物的储存和操作《ANSI/CGA G-13-2006》>防爆水泵，请找上海龙亚防爆水泵厂，O21-33510l17,3351O187，QQ:l585812221。